• 透射电镜 transmission electron microscope, TEM

  **透射电镜（TEM）：**样品磨制或者离子减薄或者超薄切片到微纳米量级厚度。

• 扫描电镜 scanning electron microscope, SEM

  扫描电镜（SEM）： 几乎不用制样，直接观察。

样品在电子束光路中的位置不同：

透射电镜的样品在电子束中间，电子源在样品上方发射电子，经过聚光镜，然后穿透样品后，有后续的电磁透镜继续放大电子光束，最后投影在荧光屏幕上；

扫描电镜的样品在电子束末端，电子源在样品上方发射的电子束，经过几级电磁透镜缩小，到达样品。

相同之处再于：

都是电真空设备，大部分部件的原理相同，包括：电子枪，磁透镜，各种控制原理，消象散，合轴等。

样品：固体，尽量干燥，尽量没有油污染，外形尺寸符合样品室大小要求。

透射电子显微镜（TEM）：

是一种把经加速和聚集的电子束透射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。利用聚集的电子束在样品上扫描，散射角的大小与样品的密度、厚度等相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏，胶片以及感光耦合组件）上显示出来的显微镜。

入射电子束照射试样表面发生弹性散射，一部分电子所损失能量值是样品中某个元素的特征值，由此获得能量损失谱（EELS），利用EELS可以对薄试样微区元素组成、化学键及电子结构等进行分析。

扫描电子显微镜（SEM）：

是利用细聚焦高能电子束在样件表面激发各种物理信号，如：二次电子、背散射电子等，通过相应的检测器来检测这些信号，信号的强度与样品表面形貌有一定的对应关系，因此，可将其转换为视频信号来调制显像管的亮度得到样品表面形貌的图像。

• 入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部分能量（30～50eV）激发核外电子脱离原子，能量大于材料逸出功的价电子从样品表面逸出成为真空中的自由电子，此即二次电子。

  二次电子试样表面状态非常敏感，能有效显示试样表面的微观形貌，分辨率可达5～10nm。

• 入射电子达到离核很近的地方被反射，没有能量损失；既包括与原子核作用而形成的弹性背散射电子，又包括与样品核外电子作用而形成的非弹性背散射电子。用背反射信号进行形貌分析时，其分辨率远比二次电子低。

• 可根据背散射电子像的亮暗程度，判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对金属及其合金的显微组织进行成分分析。